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1.4 粘接良好的粘合通常会因电镀、粘合和焊接操作中的残留物而减弱，这些残留物可以通过等离子方法选择性地去除。同时，氧化层也对键合质量产生不利影响，需要等离子清洗。等离子表面处理设备的具体应用：处理塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洗。同时，玻璃和陶瓷表面的轻金属污染可以用等离子法清洗。与烧灼相比，等离子处理不会损坏样品。同时，它可以非常均匀地处理整个表面而不会产生有毒气体，即使是有空洞和缝隙的样品也是如此。。
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将混合气体导入喷枪，广东真空等离子体处理机供应使用充放电使混合气体转变成等离子，再将产生的等离子正确引导到要加工处理的物品的表面。喷枪结构将感应起电的电弧局限于在喷头内，此外喷头也影响了所产生的等离子的几何图形样式。
正确地说，广东真空等离子体处理机供应过刻蚀过少会导致多晶硅栅极侧壁底部的立足点，而过刻蚀过多会恶化顶部的颈缩效应。等离子表面处理机的过刻蚀工艺采用HBr/O2刻蚀工艺，对栅控硅具有高刻蚀选择性，但仍容易出现硅过孔（pitching）和硅损伤。 V 的形成通常是由于主刻蚀步骤中的过度刻蚀、与栅控氧化硅的接触，或 HBr/O2 工艺优化不足，导致刻蚀选择性降低。
