型号

JL-VM60

等离子源系统

频  率

13.56MHz  射频

40KHz  中频

功  率

0~1000W可调

0-3000W可调

          选   配

真空系统

真空腔体

材质

316L不锈钢、航空铝（选配）

腔体内部尺寸(MM)

400*400*400（宽高深)

腔体容积

60L

极板

5层极板5层托盘可拆卸式,层间距30mm，水平式，活动可调节

 可放最大产品尺寸

  320mm*280mm

密封性

军工级焊接密封

泵

泵组

油泵/干泵+罗茨泵组合（选配）20㎥/H

真空管路

不锈钢管、不锈钢波纹管

真空计

1×105~1×10-1Pa

质量流量计

＜±1% FS  质量流量控制（MFC）系统

气路控制

2-4路处理气体气路，气体流量可调

真空度基础压力设定范围

10Pa-50Pa

适用气体

流量范围

0-500SCCM（可调）

工艺气体

Ar、N₂、O₂、H₂等等（可选）

控制系统

1、PLC 自动控制；

2、7寸触摸屏,图形用户界面；

3、配方程序为 0~99；

4、多级权限操作；

5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息；

6、存储工艺数据及错误信息；

7、配备声光报警装置,报警信息提示及追溯；

  8、保护功能：工作气体耗尽报警、压缩空气力低于设定值报警、反应仓泄露率过大报警、控制面板处设急停按钮等

  9、免静电清洗等多种清洗模式

10、图形化界面检测处理参数；

11、自动、手动操作可切换；

12、维护提示紧急停止按钮；

13、门感应器和真空互锁；

14、显示功能：工艺参数显示；运行时间显示；工艺过程实时监视并显示运行状态，如泵的、射频电源监视并显示运行状态，如泵的、射频电源监视并显示运行状态，如泵的、 射频电源质量流量等；故障报警，提示项目

15、机器运行信号指示；

16、机器运行结束提示；

17、设备无WIFI，无蓝牙，无读卡器等相关装置

外观参数

外形尺寸(MM)

900*1750*900(宽高深）

重  量

320KG

设施配置

电  力

五线线三相制AC220V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定

整机功率

2KW

压缩空气

干燥压缩空气CDA 0.5MPa

其  它

提供操作手册、维护手册、安装手册，易损件备件清单.