1、等离子刻蚀设备RIE150（GSE200通用型等离子刻蚀机） 这是因为当CO2浓度高时，GSE200通用型等离子刻蚀机体系中的活性氧过多，它们与CH4分子相互作用产生氧化产物，并与产生的C2烃产物相互作用转化C2H6，这是为了促进它。将 C2H4 和 C2H2 转化为氧化产物。 CO 产率随着 CO2 浓度的增加而增加，当 CO2 浓度超过 50% 时达到一个...
