)、TCP)、电子回旋共振等离子刻蚀机（ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE, ECR）、远程等离子刻蚀机（REMOTE PLASMA）、等离子边缘刻蚀机（PLASMA BEVELETCH）。前三种蚀刻机以等离子体产生方式命名，材料亲水性和憎水性后两种蚀刻机主要是通过特殊的结构设计来实现不同的蚀刻效果。远程等离子刻蚀机利用自由基过滤等离子的带电粒子，与待刻蚀材料进行刻蚀反应。
氟塑材料由于其优异的有机化学性能、优良的介电性能、极低的摩擦阻力和轴承自润滑作用，冷冻处理增强材料亲水性在一些特殊行业中有着重要的应用前景。但是，在这种材料的整个释放过程中，很难避免的问题是，在同一种材料之间或同一种材料之间，产生较弱的粘结能力。为此，我们对这类不粘结聚合物不粘结的原因和表面解法进行了探讨。等离子表面处理机装置不容易损坏样品。另外，可以非常均匀地解决所有表面问题，不易产生有害物质。
等离子清洗机的优势： 首要分为两种方式，冷冻处理增强材料亲水性即腔式与大气压式，此两种等离子技能均为直接式等离子。 腔式等离子的特点是需求一个封闭的腔体，电极内置于真空腔体中，作业时首先用真空泵将腔体内空气吸出构成类真空环境，然后等离子在整个腔体中构成并直接对在内的材料进行表面处理。此种腔式等离子的处理效果要优于大气等离子。后续运行本钱较高，首要原因是其真空泵连续作业的功耗较大。
