当温度足够高时，半导体表面电势https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/dengliziqingxiji00018.png等离子体处理分子中的原子获得了足够的动能，开始彼此分离。分子在受热时分裂成原子状态的过程称为解离。如果温度再升高，原子外层的电子就会脱离原子核，成为自由电子。失去电子的原子变成带电离子，这一过程称为电离。被电离(部分或完全)的气体称为等离子体(或等离子体)。等离子体是一种由带正电荷和负电荷的粒子组成的气体。由于总正电荷和总负电荷相等，等离子体的净电荷等于零。
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