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因此零故障观点的意义在于指导我们正确认识故障，等离子清洗设备螺杆真空泵生产厂家做该做的事以避免强制恶化，延缓自然老化。目前为止，之所以还存在很多故障，往往是没有抓住故障的真正原因。在故障发生前，通常都存在一些微小的、隐含的缺陷。如果在故障发生前，对这种不引人注目的、Z终导致故障的潜在缺陷加以重视，并及时改善，就可以消除故障。由此可见，潜在缺陷的明显化处理是“无故障”的原则。
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相对来说，干式清洗是指不依赖于化学试剂的清洗技术，包括等离子体清洗、气相清洗、束流清洗等。由于工艺技术和应用条件的不同，使得目前市场上的半导体清洗设备也存在明显的差异性，目前，市场上主要的清洗设备是单晶圆清洗设备、自动清洗台和洗...
