1、刻蚀工艺(刻蚀工艺主要分为哪几种类型?各有什么特点?) 等离子清洗机的GST相变记忆刻蚀工艺:GST是目前应用广泛的一种相变材料,刻蚀工艺其由等离子清洗机刻蚀的工艺是唯一的相变记忆工艺。等离子清洗机GST蚀刻气筛作为相变存储器的核心材料,GST的体积直接影响器件的电学性能,因此GST膜的完整性极为重要。以Cl、F、Br3等不同卤素气体作为等离子清洗机的主...
2、晶圆刻蚀(晶圆刻蚀设备的国内外主流供应商有哪些各有何优势) 据 业务经理走访多家半导体企业发现,晶圆刻蚀不少企业仍愿意使用进口等离子清洗机品牌。近年来,由于进口机价格昂贵,国产等离子清洗机发展迅速,如果国产机也能达到同样的效果,当然国内企业愿意选择国产品牌,东信的销售经理走访国外客户一年四季。走访这些半导体企业时,发现国内半导体行业使用的品牌很多,包括:我整...