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其主要原理步骤是：首先将待清洗工件送入真空室固定，嘉兴在线式等离子清洗机什么牌子好启动真空泵等装置，抽真空至10Pa左右；然后将用于等离子体清洗的气体引入真空室（根据清洗材料的不同选择不同的气体，如氧气、氢气、氩气、氮气等），压力保持在Pa左右；在真空室内电极与接地装置之间施加高频电压，使气体击穿，通过辉光放电使气体电离，产生等离子体等离子体；真空室内产生的等离子体完全覆盖被清洗工件后，清洗工作开始，清洗过程持续数十秒至数分钟。
目前已开放的应用领域包括：半导体集成电路及其他微电子器件制造工具、模具和工程金属的硬化生物相容性药物包装材料的制备表面防腐及其他薄层的沉积特种陶瓷（含超导材料及粉体）新化学品和新材料的制造聚合物薄膜的印刷与制备危险废物处置磁记录材料与光学材料精加工照明和显示电子电路与等离子体二极管开关等离子体化工（氢等离子体热解煤制乙炔、等离子体煤气化、等离子体热解重烃、等离子体炭黑、等离子体电石等）。
等离子清洗机保养记录
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