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渠化河道亲水性改造

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河道亲水性

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偏移侧壁的开发:浇口尺寸小于1.0 PM的工艺称为亚微米工艺。在0.25 PM以下,河道亲水性改造是什么意思我们称之为深层亚微米过程。然而,在亚微米和深亚微米时代,随着栅极长度/沟道长度的减小,我们面临的主要技术问题不仅是穿透,而且是沟道电场引起的热载流子效应。其主要原因是衰竭带宽度向河道内延伸,导致河道有效长度变窄。因此,加到通道上的等效电场(Vd/Leff)增加,导致通道载流子碰撞能量产生的电子空穴对增加。

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